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直流疊加脈沖偏壓電源

時間：2020-05-09 11:34:55 來源：金創立科技瀏覽次數：

主要特點
JCL-ZDPY可方便地在帶載情況下通過直流電壓和脈沖電壓實現直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調節，可控制成膜溫度增加膜基結合力，提高沉積和高品質鍍膜系統。
1、DSP數字化控制/精度高/重復性好，配有控制面板和控制程序。
2、具有過流、過熱、過壓、短路保護。
3、控制方式:恒壓、恒流、恒功率。
4、風冷
5、根據用戶要求預留光纖通訊接口（遠控功能）

主要參數
負脈沖工作電壓可分為A、B兩檔，每一檔內的電壓連續可調，脈沖上升、下降快，脈沖幅值穩定:
A：100~1000V
B：50~500V
直流電壓：20V~200V連續可調、自動穩壓、穩壓精度1%
脈沖頻率：20KHz~40KHz(連續可調或定額)
脈沖占空比：10%~80%（連續可調）

型號	功率	工作電壓電流（脈沖）	脈沖頻率	占空比	冷卻方式	工作電壓電流（直流）
ZDPY-5	5kW	100~1000V/4A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	風冷	20~200V/5A
		50~500V/8A
		25~250A/16A
ZDPY-10	10kW	100~1000V/8A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	風冷	20~200V/10A
		50~500V/16A
		25~250A/32A
ZDPY-20	20kW	100~1000V/16A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	水冷	20~200V/20A
		50~500V/32A
		25~250A/64A
ZDPY-30	30kW	100~1000V/24A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	水冷	20~200V/30A
		50~500V/48A
		25~250A/96A
ZDPY-50	50kW	100~1000V/40A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	水冷	20~200V/50A
		50~500V/80A
		25~250A/160A
ZDPY-70	70kW	100~1000V/56A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	水冷	20~200V/70A
		50~500V/112A
		25~250A/224A
ZDPY-100	100kW	100~1000V/80A	20~40kHz連續可調或定頻40kHz	10%~80% 連續可調	水冷	20~200V/100A
		50~500V/160A
		25~250A/320A

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直流疊加脈沖偏壓電源